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【 2 名 同 時 申 込 で 1 名 無 料 】 対 象 セ ミ ナ ー
【Live配信セミナー(Zoom使用)】 ※会社・自宅にいながら学習可能です※
テレワーク応援キャンペーン【Live配信/WEBセミナー1名受講限定】
【Live配信(リアルタイム配信)】

『高感度化フォトレジスト材料の設計術』
【Live配信セミナー(Zoom)】

~分子設計の基礎とEUV用レジスト材料などの最新研究動向~
 開催日時   2022年5月31日(火) 13:00~16:30 
会 場  Live配信セミナー(会社、自宅にいながら受講可能)
受講料  44,000円 ( E-Mail案内登録価格 41,800円 )
  定価:本体40,000円+税4,000円、E-Mail案内登録価格:本体38,000円+税3,800円
※【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
  1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/E-Mail案内登録価格 33,440円 )
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※備考欄に【テレワーク応援キャンペーン】適用を希望とご記入ください。
※他の割引は併用できません。
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で44,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須/1名あたり定価半額22,000円)

  受講申込要領
配布資料 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
 ※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
 ※開催日の4~5日前に発送します。
   開催前日の営業日の夕方までに届かない場合はお知らせください。
 ※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
   開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
オンライン
配信
・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
・セミナー視聴・資料ダウンロードはマイページから
 お申し込み後、マイページの「セミナー資料ダウンロード/映像視聴ページ」に
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 開催日の【営業日2日前】より視聴用リンクと配布用資料のダウンロードリンクが表示されます。
■最近よくあるお問い合わせ■
1.受講中の、カメラのON/OFF、マイクのON/OFFについて。
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  → 受講後でも構いません。お申込み時に振込み予定日を記入いただくか、決まり次第のご連絡で構いません。
 
備 考 ※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
 得られる知識 ・レジスト材料の評価方法と開発方法
対 象  ・新しいレジスト材料の開発に関する研究者
主 催  サイエンス&テクノロジー 

 ※請求書等は、サイエンス&テクノロジー社より送付いたします。

 講師 関西大学 化学生命工学部 化学・物質工学科 教授 工藤 宏人 氏
【専門】高分子合成化学、有機合成化学、機能性高分子材料の開発
 セミナーの趣旨  フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに、KrF、ArF、EB、およびEUVレジスト材料の合成例と分子設計指針について基礎から応用までを解説する。また、レジスト材料の基礎的な評価方法を解説し、新規なレジスト材料の開発方法について解説しながら、最新のレジスト材料としてEUVレジスト材料の開発方法について解説する。
講義項目 1.レジスト材料
 1.1 原理
 1.2 合成例
 1.3 最新の化学増幅型
2.ポジ型レジスト材料
3.ネガ型レジスト材料
4.高分子レジスト材料と低分子レジスト
5.レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
6.最新型レジスト材料(メタルレジスト、EB、EUV用レジスト材料)
  □ 質疑応答 □