☆☆☆本セミナーは、Zoomを使用して、行います。☆☆☆
開催日:2024年3月28日(木)10:30-16:30
受講料:お1人様受講の場合 53,900円[税込]/1名
1口でお申込の場合 66,000円[税込]/1口(3名まで受講可能)
★本セミナーの受講にあたっての推奨環境は「Zoom」に依存しますので、ご自分の環境が対応しているか、
お申込み前にZoomのテストミーティング(http://zoom.us/test)にアクセスできることをご確認下さい。
★インターネット経由でのライブ中継ため、回線状態などにより、画像や音声が乱れる場合があります。
講義の中断、さらには、再接続後の再開もありますが、予めご了承ください。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
<学職歴> | 1985年 京都大学 工学部 合成化学科 卒業 1985年 三菱電機株式会社 先端技術総合研究所 研究員/主任研究員/主席研究員 1997年 博士(工学)(大阪大学)「化学増幅ポジ型三成分系電子線レジストの設計と開発」 2003年 高知工業高等専門学校 物質工学科 助教授 2007年 金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科 教授 2013年 大阪市立大学大学院 工学研究科 化学生物系専攻 教授(~2021年) 2014年 大阪市立大学 産学官連携本部 新産業創生研究センター 所長(~2017年) 2017年 大阪市立大学大学院 工学研究科 化学生物系専攻 専攻長(~2018年) 2022年 大阪公立大学大学院 工学研究科 物質化学生命系専攻 教授(現在に至る) 2022年 大阪公立大学 学長特別補佐、基金推進室長(現在に至る) 2007年 大阪大学 招聘教授(兼) (現在に至る)、2015年 東北大学 客員教授(兼)(~2016年)、2016年 兵庫県立大学 客員教授(兼)(~2022年)、2016年 大阪工業大学 客員教授(兼)(~2019年)、2017年 高知工科大学 客員教授(兼)(現在に至る)、2017年 金沢大学 客員教授(兼)(現在に至る)、2018年 東京農工大学 客員教授(兼)(~2022年)、2021年 東北大学 特任教授(兼)(現在に至る)、2021年 広島大学 客員教授(兼)(~2022年) |
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<表彰> | 第46回化学技術賞(1995年)、第14回平賀源内大賞(2007年)、第11回プラズマエレクトロニクス賞(Plasma Electronics Award) (2013年)、平成28年度ONSA賞(2017年)、第65回電気科学技術奨励賞(2017年)、等 | |
<学会、等> | 高分子学会、応用物理学会、日本放射線化学会、電気材料技術懇談会、関西コンバーティングものづくり研究会、Cat-CVD研究会(日本放射線化学会常務理事、関西コンバーティングものづくり研究会会長、応用物理学会代議員、高分子学会北陸支部講演会実行委員・プログラム委員、電気学会論文委員、NEDOレビュアー、科研費審査委員、三菱電機外部評価委員長など) | |
<専門> | 高分子物性(レジスト材料・プロセス、活性種とポリマーとの反応性、フィラー分散高分子の電気特性、PVDFの結晶構造制御) |
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半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製(レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニングされたトランジスタが形成される。これらの工程はリソグラフィー工程と呼ばれ、おおよそ20回から30回繰り返されることになる。
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