☆☆☆Web配信セミナー☆☆☆
☆☆☆本セミナーは、Zoomを使用して、行います。☆☆☆
開催日時:2024年4月23日(火)10:00-16:30
受 講 料:お1人様受講の場合 53,900円[税込]/1名
1口でお申込の場合 66,000円[税込]/1口(3名まで受講可能)
★本セミナーの受講にあたっての推奨環境は「Zoom」に依存しますので、ご自分の環境が対応しているか、
お申込み前にZoomのテストミーティング(http://zoom.us/test)にアクセスできることをご確認下さい。
★インターネット経由でのライブ中継ため、回線状態などにより、画像や音声が乱れる場合があります。
講義の中断、さらには、再接続後の再開もありますが、予めご了承ください。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
<略歴> | 1982年 東京大学 理学部 物理学科 卒業 1987年 東京大学大学院 理学系研究科 物理学専攻 博士課程修了 1988年 ニューヨーク大学大学院 数学科 博士課程修了 1988年-1990年 テキサス大学物理学科 核融合研究所 研究員 1990年-1998年 IBM ワトソン研究所 主任研究員 1998年-2004年 京都大学 エネルギー科学研究科 助教授 2004年 大阪大学 工学研究科 教授 現在に至る |
<学会活動等> | 国際真空科学技術応用国際連合(IUVSTA)プラズマ科学技術分科会(PSTD)長(2019-2021)、Journal of Plasma
Medicine 編集委員長(2019-現在)、プラズマ医療国際学会(IPMS)会長(2015-2016)、米国真空学会(AVS)プラズマ科学技術分科会(PSTD)分科会長(2014)等歴任 米国物理学会(APS)フェロー、米国真空学会(AVS)フェロー、応用物理学会(JSAP)フェロー |
本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。
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