トリケップス文献調査用資料 CD-WS135
液晶パネル用カラーフィルタ作製技術
刊行月:1991年12月、価格:43,890円(税込)
体裁:CDR、216頁
監修
両角伸治 元 セイコーエプソン株式会社
執筆者
成田建一 鳥取三洋電機株式会社 LCD事業部 技術部 技術1課 課長
谷 瑞仁 凸版印刷株式会社 エレクトロニクス事業本部 技術開発本部 精密電子研究所
副主任研究員
浜口卓也 大日本印刷株式会社 中央研究所 室長
小林袈裟直 富士写真フイルム株式会社 吉田南工場 研究部 主任研究員
桜井雄三 東レ株式会社 技術センター 液晶材料開発推進グループ 主席部員
根本四郎 凸版印刷株式会社 総合研究所 生産技術センター 主任研究員
正田新次郎 大日本印刷株式会社 中央研究所 主任研究員
池上 昭 東洋紙業株式会社 電子技術事業本部 副本部長 兼 研究開発本部 本部長
安川淳一 株式会社シントーケミトロン 次長
松村 晃 日本ペイント株式会社 NB事業部 開発グループ 課長
渡辺 苞 東京工芸大学 工学部 講師
木瀬一夫 大日本スクリーン製造株式会社 化工機工場 技術1課 技術2係 係長
尾崎一人 大日本スクリーン製造株式会社 化工機工場 技術1課 技術2係
有賀 久 セイコーエプソン株式会社 T・M事業部 T・M開発部 主任
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第1章 総論~液晶パネルにおけるカラーフフィルタ
1 カラー液晶パネルの構成
2 白黒表示液晶パネル
2.1 位相補償型STN-LCD
2.2 a-SiTFT-LCD
3 カラーフィルタ基板
3.1 構造
3.2 製造法
3.3 カラーフィルタ完成後のプロセス
4 バックライト
4.1 特性
4.2 構造
第2章 カラーフィルタ形成技術
第1節 染色法によるカラーフィルタの形成
1 はじめに
2 カラーフィルタの概要
2.1 歴史
2.2 要求品質
2.3 カラーフィルタの構造および構成要素
3 染色法カラーフィルタの製造技術
3.1 可染性感光材料
3.2 染料
3.3 保護膜
4 信頼性およびその問題点
5 今後の課題
第2節 顔料分散法によるカラーフィルタの形成
Ⅰ 顔料分散法概論
1 はじめに
2 各種分散法
2.1 着色剤の特徴
2.2 製造方法
3 まとめ
Ⅱ 顔料分散法によるカラーフィルタの形成(1)
1 はじめに
2 顔料分散法の製造方法および特徴
2.1 高感度レジスト
2.2 顔料の分散
2.3 高感度着色感剤
2.4 カラーフィルタの製造方法
3 まとめ
Ⅲ 顔料分散法によるカラーフィルタの形成(2)
1 はじめに
2 カラーモザイクの組成
2.1 光重合開始剤
2.2 モノマ
2.3 バインダ
2.4 顔料
3 プロセスとリソグラフィ
3.1 プロセス
3.2 リソグラフィ
4 カラーモザイクの物性と安定性
4.1 カラーモザイクの物性
4.2 カラーモザイクの経時安定性
5 カラーモザイク法カラーフィルタの特性
5.1 透過率と分光特性
5.2 信頼性
6 まとめ
Ⅳ 顔料分散法によるカラーフィルタの形成(3)
1 はじめに
2 顔料分散ポリイミドによるカラーフィルタ製造法
2.1 材料組成と特長
2.2 カラーフィルタ加工プロセス
3 顔料分散ポリイミドカラーフィルタの特性
4 まとめ
第3節 印刷法によるカラーフィルタの形成
Ⅰ 印刷法概論
1 はじめに
2 カラーパネルの品質特性
3 印刷法の特徴
3.1 フレキソ印刷
3.2 スクリーン印刷
3.3 平版印刷
3.4 凹版印刷
4 カラーフィルタ適用の現状と課題
5 まとめ
Ⅱ 印刷法によるカラーフィルタの形成(1)
1 はじめに
2 印刷法概論
2.1 スクリーン印刷
2.2 フレキソ印刷
2.3 平版オフセット印刷
2.4 グラビアオフセット印刷
3 グラビアオフセット印刷法
3.1 ブランケット
3.2 インキ
4 ブラックマトリクスの形成
5 印刷カラーフィルタ表面平滑化
6 まとめ
Ⅲ 印刷法によるカラーフィルタの形成(2)
1 はじめに
2 カラーフィルタ
3 印刷法
4 印刷法と顔料分散法のコンビネーション
4.1 繰り返し印刷によるパターンずれ
4.2 表面平滑化
4.3 研磨による平滑化
5 印刷法、顔料分散法コンビネーテッドカラーフィルタ
6 おわりに
第4節 電着法によるカラーフィルタの形成
1 電着の原理
1.1 はじめに
1.2 電着の原理
2 電着法カラーフィルタの材料
2.1 電着用高分子樹脂
2.2 電着用着色剤
2.3 ブラックマスク(B/M)用樹脂
2.4 ブラックマスク用着色剤
3 電着法カラーフィルタの諸特性
3.1 透明導電性ガラス基板
3.2 ITO表面の清浄度とカラーフィルタ仕上がり外観
3.3 電着法カラーフィルタの製造方法
3.4 ブラックマスクの製造方法
3.5 複合材料の一部としてのカラーフィルタ
4 電着法カラーフィルタの諸特性
4.1 電着法カラーフィルタ製造の特徴
4.2 電着法カラーフィルタの諸特性
5 現状の取組みと今後の展開
5.1 明るいカラーフィルタ
5.2 基板サイズ
5.3 今後の展開
第5節 電着転写法によるカラーフィルタの形成
1 はじめに
2 各種カラーフィルタの製造手法およびその課題
3 電着転写によるカラーフィルタの製造方法
3.1 レジスト現像工程
3.2 電着塗布工程
3.3 転写工程
3.4 生成したカラーフィルタの特徴
4 電着転写プロセスの特徴
5 おわりに
第6節 レジストダイレクト電着法によるカラーフィルタの形成
1 はじめに
2 各種カラーフィルタの製法およびその課題
3 レジストダイレクト電着法によるカラーフィルタの形成工程
3.1 レジスト設計とレジスト現像工程
3.2 電着液設計と電着塗布工程
3.3 ブラックマトリクス(B/M)のセルフアライメント導入工程
4 レジストダイレクト電着法の特徴
5 おわりに
第3章 印刷法のトータルシステム
1 はじめに
2 液晶用の印刷法によるトータルシステム
2.1 全工程の印刷化
2.2 製造法
3 透明導電膜
3.1 透明導電性インキ
3.2 熱分解法インキ
3.3 分光特性
4 偏光フィルタ
5 TFT、MIMの印刷
6 電源
7 スクリーン印刷、ロールコータ
8 クリーンルーム
9 高解像力パターン
9.1 位相シフトパターン
9.2 SMTによるパターン
10 評価法(信頼性)
11 今後の技術的な方向
11.1 大形化
11.2 トータルシステム
11.3 ハイブリッド法
11.4 印刷装置の周辺と開発と改善
第4章 カラーフィルタ製造装置
1 はじめ
2 カラーフィルタ製造法
3 フォトリソグラフィを利用したカラーフィルタ製造装置
3.1 洗浄装置
3.2 コーティング装置
3.3 露光装置
3.4 現像装置
3.5 ポジレジストの現像
3.6 カラーフィルタの現像
3.7 感光性顔料分散型カラーフィルタ現像ライン
3.8 Cr膜ブラックマトリクスのエッチング装置
3.9 ベーキング装置
3.10 ダイレクトプレートオープン
4 おわりに
第5章 カラーフィルタ検査・評価技術
1 はじめに
2 カラーフィルタ検査概要
2.1 要求品質
2.2 検査方法
3 カラーフィルタの評価技術
3.1 要求特性
3.2 信頼性、評価技術
4 今後の課題
第6章 パネルメーカからみたカラーフィルタへの要求仕様
1 はじめに
2 カラーフィルタの耐熱性に対する要求仕様について
3 カラーフィルタの耐光性について
4 パターン精度に関する要求仕様
5 ブラックマトリクス・ITOに関する要求仕様
6 カラーフィルタ用ガラス基板について
7 耐溶剤・耐薬品性について
8 その他
8.1 配向膜塗布性
8.2 シール剤との密着性
8.3 表面断差
9 おわりに
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